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三温区三路气体CVD系统

简要描述:

TN-G1700S三温区三路气体CVD系统
三温区管式炉主要用途:陶瓷、冶金、电子、玻璃、化工、机械、耐火材料、特种材料、建材、高校、科研院所、工矿企业做粉末焙烧、陶瓷烧结、高温实验、材料处理、质高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火等。

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TN-G1700S三温区三路气体CVD系统

三温区管式炉主要用途:陶瓷、冶金、电子、玻璃、化工、机械、耐火材料、特种材料、建材、高校、科研院所、工矿企业做粉末焙烧、陶瓷烧结、高温实验、材料处理、质高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火等。

TN-G1700S三温区三路气体CVD系统

三温区管式炉主要功能和特点:

1.设备的控制系统具有安全可靠、操作简单、控温精度高、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、温区多、可选配气氛、抽真空等。

 

三温区管式炉技术参数:

1

产品型号

TN-G1700S

2

炉 膛

高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好。

3

炉管尺寸

Φ60×1200mm

4

加热元件

温区1温区3-硅碳棒,温区2硅钼棒

5

测温元件

温区1温区3   S级, 温区2   B级

6

控温方式

温度控制采用三个高精度30段数字控温仪控制,具有PID调节、自整定功能,30段升降温程序

7

密封方式

不锈钢法兰密封

8

真空系统

高真空系统组(达到技术要求)

9

工作温度

温区1温区3≤1400℃     温区2≤1700℃

10

温度

温区1温区3≤1450℃     温区2≤1750℃

11

恒温精度

±1℃

12

恒温区长度

总加热区长度不小于 25〞

13

建议升温速度

温区1温区3  20℃/min      温区2     10℃/min

14

气体流量系统

三通道质量流量控制系统(达到技术要求)

15

额定功率

10KW

16

工作电源

AC220V/50HZ/60HZ

17

标准配件

三温区管式炉 1台,高真空系统 1套,三通道质量流量控制系统 1套,原厂配置管式炉架 1个

18

 

 

19

  


 

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